ワークステージ (HYBONDワイヤーボンダー用) |
モデル No. | 設定温度 | ステージサイズ | 高さ調節範囲 (装置ベースプレートから ステージ表面までの高さ) |
ワーク固定方式 | 特殊機能 |
WST-15A | 常温 ~ 250°C | 直径 54mm | 63.5 ~ 76.2mm | メカクランプ & 真空吸着 |
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WST-15B | 常温 ~ 250°C | 直径 85.7mm | 63.5 ~ 76.2mm | メカクランプ & 真空吸着 |
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WST-15CM | 常温 ~ 250°C | 直径 81mm | 63.5 ~ 76.2mm | メカクランプ | |
WST-15CV | 常温 ~ 250°C | 直径 81mm | 63.5 ~ 76.2mm | 真空吸着 | |
WST-15CMS | 常温 ~ 250°C | 直径 81mm | 63.5 ~ 76.2mm | メカクランプ | 表面溝付き |
WST-19A | 常温 ~ 250°C | 101 X 152mm | 50.8 ~ 63.5mm, 63.5 ~ 76.2mm |
メカクランプ & 真空吸着 |
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WST-19B | 常温 ~ 250°C | 101 X 101mm | 50.8 ~ 63.5mm, 63.5 ~ 76.2mm |
メカクランプ & 真空吸着 |
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WST-65 | 常温 ~ 250°C | 254 X 152mm | 69.85 ~ 146mm | メカクランプ | |
WST-70 | 常温 ~ 250°C | 254 X 203mm | 69.85 ~ 146mm | メカクランプ |